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世界上早生产制氧机的国家是德国和法国。德国林德公司于1903年制成了世界0米3 /秒时制氧机，继德国之后法国空气液化公司于1910年也开始生产制氧机。从1903年制氧机已有百年历史。 [3]

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每一种气体，都有自己特定的热导率，当两个和多个气体的热导率差别较大时，可以利用热导元件，分辨其中一个组分的含量。这种传感器已经传感器地用于氢气的检测、二氧化碳的检测、高浓度的检测。

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这是磁性氧气分析仪的，但是也已经实现了“传感器化”进程。它是利用空气中的氧气可以被强磁场吸引的原理制备的。这种传感器只能用于氧气的检测，大气环境中只有氮氧化物能够产生微小的影响，但是由于这些干扰气体的含量往往很少，所以，磁氧分析技术的选择性几乎是的！

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